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AVI

AVI社(Automated Visual Inspection)は1984年創業以来、画像処理と問題画像解析の分野においてフォトマスク用画像イメージ処理ソリューション生み出し続けております。Aソリューション・システムの使用とメンテナンスを簡単にする直観的なユーザーインターフェースと共に顧客のニーズに正確に沿った、費用対効果の高いサービスを提供し続けております。

フォトマスク欠陥測定システム(ADAS)

WS08

フォトマスク欠陥分分類は時間や費用を大いに消費、時折ヒューマンエラーによって毎年数百万円のウエハを損失する原因となります。ADASは欠陥の分類と測定を自動化します。スルーアウトを劇的に増加させ、ウエハに歩留まり制限欠陥の描画不良のリスクを減らします。ADASはすべてのマスク検査ツール製造装置と互換性があります。
レチクル検査装置、顕微鏡等のビデオソースからのイメージ画像を利用して高精度でCD、欠陥、OPC、Corner、コンタクトの測定を行います。PSMへ適応可能。

・高信頼性のマスクと欠陥の合否システム
・ウエハ上の欠陥影響のシミュレート
・1分間で1000個以上の欠陥を処理
・進行形の欠陥の早期発見
・Flux Area測定技術(AVI社特許で欠陥を通してくる光量または欠陥が吸収する光量の測定)により、SEMの測定精度を上回り、再現性1-5nmで測定可能。
・CD、欠陥、コンタクトホール、エッジの粗さ、コーナー径、OPC等の測定が可能。PSMでのHalf-Toneも測定可能。
・測定にThresholdは使用しない為オペレーターへの依存性なし。
・高い再現性と瞬間測定が可能。
・.検査装置の使用効率や処理数の向上。
・合否基準は欠陥のサイズ、欠陥位置とエッジまでの距離、パターンタイプ、顧客標準のパーセンテージエラー、伝達特性、反射特性等。
・空像シュミレーターを搭載しており、大幅な歩留まり制限欠損のリスクを低減。

 

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