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SUSS製品

ズース マイクロテックは、微細構造を使用した製品向けの製造装置、及びプロセスソリューションの分野で60年を超えるエンジニアリングの歴史を誇る世界有数のサプライヤーです。主力事業として据えているのは、リソグラフィソリューションとウエハボンダです。
リソグラフィ事業部では、マスクアライナ、スピン方式およびスプレー方式のレジストコータに焦点を当てた非常に高精度のフォトリソグラフィツールを生産しています。ボンダ事業部は、量産パッケージング市場用の製品ウエハボンダの開発を専門とする一方、手動装置も提供しています。
フォトマスク装置事業部では、フォトマスクとインプリントマスク処理用の装置ソリューション、EUVマスクも対応可能な最先端洗浄装置をご提供致します。

フォトマスク装置

高度なリソグラフィープロセスの為には、完全なフォトマスクが重要な役割を果たします。ズース マイクロテックはフォトマスクの洗浄、ベーク、現像プロセスに関するリソグラフィーロードマップの次世代の基準を満たした自動機をご提供致します。その革新的なソリューションは、 193i 1x ハーフピッチ DPT、極端紫外線リソグラフィー(EUVL)、ナノインプリントリソグラフィー(NIL)等の高い要求に対応しています。革新的なプロセスはフォトマスクの最高品質を目指します。

コーター・デベロッパー

ズース マイクロテックのスピンコーターとスプレーコーターは高品質の性能、使い勝手の良さ、柔軟性により質の高いコーティング技術を提供致します。コンパクトでユーザーフレンドリーなデザインはハイエンドな大量生産から研究開発向けまでをサポートするラインナップを揃えており、ウエハも300㎜まで対応致します。

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60年を超える微細加工分野での実績をいかし、ズース マイクロテックは性能と品質に対する高い意識をウエハ接合装置にも反映させました。現在では数々の研究施設や材料メーカーと信頼に基づく連携を築き、最先端技術を駆使したインテリジェントなソリューションを開発しています。この装置は、2.5次元/3次元積層、MEMSの作製およびパッケージング、LEDやパワーデバイス、研究開発など、幅広い用途に対応しています。

マスクアライナ

厚膜/薄膜のコーティングレイヤー用途に最適洗練された露光光学系を持つズース マイクロテックのマスクアライナは最高のアライメント精度を誇ります。研究・開発用の装置から、全自動大量生産用装置まで幅広い製品を揃えています。ズース マイクロテックのマスクアライナは、特に MEMS、アドバンスドパッケージ、3次元パッケージング、化合物半導体、パワーデバイス、太陽光発電、ナノテクノロジー、ウエハレベルオプティクスの分野のリソグラフィー用途に使用されています。

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